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    10
    2026
    -
    08
    基于 白光干涉仪(White Light Interfer...
    摘要超薄薄膜工件(Ultra-thin Film Workpiece)广泛应用于半导体晶圆(Wafer)、钙钛矿光伏膜层、微机电系统(MEMS)功能膜层等精密制造...
    基于  白光干涉仪(White Light Interferometer, WLI)大视场全域检测的超薄薄膜工件(Ultra-thin Film Workpiece) 工艺缺陷甄别研究
    08
    2026
    -
    08
    骨植入体 多孔孔径 尺寸偏差,白光干涉仪优化骨组织生长环境
    多孔骨植入体(Porous Bone Implant)凭借贯通孔隙结构实现细胞附着、体液传输与骨长入,孔径(Pore Size)是决定骨再生与血管化效果的关键结构...
    骨植入体 多孔孔径  尺寸偏差,白光干涉仪优化骨组织生长环境
    08
    2026
    -
    08
    白光干涉仪全域成像技术对超光滑样品批量工艺异常的识别与分析
    正文超光滑样品广泛应用于半导体化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)晶圆、精密光学基底、微机电系统(Micro-El...
    白光干涉仪全域成像技术对超光滑样品批量工艺异常的识别与分析
    07
    2026
    -
    08
    基于光学轮廓测量的核电级阀门平面度热辐照变形(Thermal...
    核电级阀门(Nuclear-grade Valve)是核电系统流体调控、压力隔离的核心承压设备,其密封面平面度(Flatness)直接关乎核电机组运行安全性与密封...
    基于光学轮廓测量的核电级阀门平面度热辐照变形(Thermal Irradiation Deformation)研究
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