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激光共聚焦误差根源及白光干涉仪替代方案

一、激光共聚焦显微镜粗糙度检测偏差根源1、1 物镜先天视野局限纳米级粗糙度检测主流采用尼康50×APO高倍物镜，设备精度与物镜倍率正相关，但高倍率会大幅压缩成像视...

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有效提升电子组件组装良品率（Assembly Yield），...

柔性印制电路板（Flexible Printed Circuit，FPC）是消费电子、半导体精密组装的核心轻量化基材，其封装边缘直线度（Straightness）...

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光学轮廓测量评估煤粉输送阀平面度防窜漏（Anti-chann...

在煤粉输送系统中，输送阀密封面平面度（Flatness）超差是引发防窜漏失效（Anti-channeling Failure）、煤粉外漏及管路压力扰动的核心诱因。...

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MEMS 传感器沟槽刻蚀（Groove Etching of...

摘要微机电系统传感器（Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS）制备过程中，沟槽刻蚀形貌、薄膜沉积厚度、多层结构台阶高度，是决...

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